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樓主  發(fā)表于: 2023-02-15 09:24
半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的某些工藝涉及氣體與半導(dǎo)體基片的反應(yīng),比如沉積工藝和刻蝕工藝,氣體的流量將對(duì)工藝結(jié)果產(chǎn)生重要影響。為了使生產(chǎn)的半導(dǎo)體獲得較高的良品率,必須對(duì)流入反應(yīng)腔室的氣體流量進(jìn)行精確控制,尤其是隨著半導(dǎo)體工藝集成度的不斷提高,對(duì)氣體流量的誤差要求也進(jìn)一步提高。




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